为了延伸摩尔定律，不同频率的等离子体设备 20mhz芯片制造商不仅可以从平坦的晶圆表面去除小的随机缺陷，还可以迁移到更复杂、更精细的 3D 芯片架构，而不会造成损坏或材料损失，从而降低良率和利润，你必须能够处理。盛美半导体估计，对于一家月产10万片晶圆的20nm DARM厂，减产1%将使年利润减少3
